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圖爾克傳感器由沉積在介質(zhì)基板(基板)基板上的薄膜和相應(yīng)的敏感數(shù)據(jù)組成。使用混合工藝時(shí),可以在此基板上制造相同的電路部分。
厚膜傳感器是在陶瓷基片上涂覆而成,通常由Al2O3制成,然后進(jìn)行熱處理,形成厚膜。
陶瓷傳感器由標(biāo)準(zhǔn)陶瓷工藝或各種工藝(溶膠、凝膠等)制成。
在適當(dāng)?shù)臏?zhǔn)備操作完成后,所形成的組件在高溫下燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器的兩個(gè)過程之間有許多共同的特征。在某些方面,厚膜工藝可以被認(rèn)為是陶瓷工藝的變體。
每種技術(shù)都有其各自的優(yōu)缺點(diǎn)。由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)的資金投入低,傳感器參數(shù)穩(wěn)定性高,因此選擇陶瓷和厚膜傳感器是合理的。
按丈量目分類
物理傳感器使用的特性大大改變了測(cè)量材料的物理特性。
化學(xué)傳感器是由敏感元件構(gòu)成的,可以將化學(xué)成分、濃度和其他化學(xué)物質(zhì)轉(zhuǎn)化為電能。
生物傳感器是使用多種生物或生物材料來檢測(cè)和識(shí)別生物體中的化學(xué)組分的傳感器。
TURCKBI15-EG08-AP6X-V1131
TURCKBI10-EM30-AP6/S907
TURCKBI10-M30-AP6X/S120
TURCKBI10NF-EM30HE-AP6X2-H1141
TURCKBI10NF-EM30HE-RP6X2-H1143
TURCKBI10U-EM30-AP6X/3GD
TURCKBI10U-M30-ADZ30X2
TURCKBI10U-M30-AN6X
TURCKBI15-CP40-AP6X2
TURCKBI15-CP40-1X
TURCKBI1-EG05-AN6X
TURCKBI1-EG05-AP6X-V1331
TURCKBi1-EG05-AP6X-V1331
TURCKBI1-EH04-AP6X-V1331
TURCKBI20-CP40-VP4X2
TURCKBI20R-W30-DAP6X-H1141
TURCKBI25-G47SR-FZ3X2
TURCKBi2-EG08-AP6X-H1341
TURCKBI2-EG08K-AP6X
TURCKBI2-M12-Y1X-H1141